mems芯片，MEMS传感器的介绍

本文目录一览

1，MEMS传感器的介绍
2，什么是mems
3，常见MEMS加速度传感器芯片有哪些
4，倾角传感器MEMS的选择
5，国内专注于MEMS和芯片制造的企业有哪些
6，请教MEMS气体流量传感器的原理

1，MEMS传感器的介绍

MEMS即微机电系统（Microelectro Mechanical Systems），是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。截止到2010年，全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中MEMS传感器占相当大的比例。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。

MEMS传感器的介绍

2，什么是mems

Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统。现在手机的重力感应传感器，航模的角速度传感器都是这类传感器。

MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。

mems(微电子机械系统或称微机电系统)技术。看名字应该能知道是做什么的了吧。具体内容十分丰富且复杂，说不清楚

什么是mems

3，常见MEMS加速度传感器芯片有哪些

MMA7260，飞思卡尔的，灵敏度6g(200mV/g)、4g(300mV/g)、2g(600mV/g)、1.5g(800mV/g)可调，最常用的3轴加速度计。噪音很恐怖，慎用。20RMB一颗左右ADXL335，AD的，灵敏度3g(300mV/g)，但噪音很小，12位采样的话噪音也就正负1LSB。也是20RMB左右一颗以上两个加速度计我都用过。个人认为最好能选用噪音小的，灵敏度小可以放大，噪音大可就不好处理了。当然也可以RC低通滤波，但噪音是全频率白噪声，RC滤波低通频率太低的话的话会降低响应速度。另外还有MMA7455、ADXL345，差不多可以说是以上两个的I2C、SPI数字输出版本，没有用过；还有ADXL203，噪音非常小灵敏度很高，但是是双轴的，90+RMB一颗。需要以上几个芯片的DATASHEET的话，用英文版google搜型号一般第一个带[PDF]字样的搜索结果就是相应DATASHEET。

常见MEMS加速度传感器芯片有哪些

4，倾角传感器MEMS的选择

倾角传感器就是使用了加速度计受重力影响产生的DC信号来计算传感器与地表面或者重力方向的夹角。简单的方法是使用加速度计做（MEMSIS D2020E，PWM接口）；没有成本压力的话直接买VTI（SCA3100 SPI接口）或者ADI（SPI、 I2C都有）的倾角计。惯性传感器一般是一个统称，加速度计和陀螺仪都是

VTI倾角传感器提供模拟和数字输出的MEMS芯片的倾角传感器可供选择。VTI的倾角传感器对于振动不灵敏，因为他们都在传感元件内部增加了阻尼，并且能承受高达20，000g的机械冲击力。VTI的倾角传感器稳定性好，精度高。适用于重型机械的应用中。铭之光提供倾角传感器在工程机械上的应用方案。

memsmicro-electro-mechanical systemmems传感器可以理解为采用微加工工艺制作的传感器微加工工艺的定义请另行搜索

5，国内专注于MEMS和芯片制造的企业有哪些

西人马科技有限公司是一家高新技术企业，公司科研人员硕博士占比超过80%。公司聚焦于MEMS与高端传感器芯片的研发、生产、检测、销售。其MEMS高端传感器芯片研究与加工基地占地70亩，具有6000平方米的超净车间和先进微纳米研究实验室。公司依据AS9100D和ISO13485质量体系为全球客户提供各类MEMS芯片、传感器。公司拥有先进的仪器设备，包含PECVD等离子体淀积系统、电子蒸镀机、电感耦合等离子体ICP干法刻蚀系统等先进生产和检测设备。在MEMS传感器关键技术和生产工艺领域具有很强的竞争力，并利用MEMS芯片技术，纳米、功能陶瓷等新材料，现代信号处理，云计算，以及人工智能等综合技术，主攻通用神经操作系统、机器神经故障诊断系统、智能健康医疗器械等技术的研究。目前西人马所研制的传感器及系统可用于故障诊断、控制、激光雷达、生物芯片等系统的解决方案，并广泛应用于包括能源、航空、轨道交通、精密仪器、工业自动化、物联网等多个领域。

6，请教MEMS气体流量传感器的原理

MEMS是热敏式的流量传感器，其工作原理如下：

产品原理MEMS气体质量流量计采用具有自主知识产权的MEMS芯片作为传感器核心部件，当没有气体介质流过传感器芯片时，传感器周围保持稳定的温度场（温度分布）,当气体介质流过传感器芯片时，温度场因为流体介质带走热量导致局部温度重新分布。局部温度场的变化量取决于流体介质的质量及流速。集成在芯片上的传感器对此温度分布进行测量，通过校准，专门设计的信号处理电路和智能控制软件可精确测量实际的介质质量流量.

“十五”期间，中科院组织全院近20家研究所开展联合攻关。在重要传感器件方面，自主开发了mems(微机电系统)振动传感器、mems声响传感器、mems红外传感器、光纤传感器、声阵列传感器，形成了以mems传感器为主、复合多信息探测的小型化传感器系列。在系统层面，研制出了5个系列9种传感网端机、4个系列基站等原型样机，在低功耗、微型化等方面研究取得突破。在专用网络研究方面取得重大突破，利用研制的传感网设备可组成多种类型的传感网络，并成功实现了各种无线传感网络与公共网络、卫星网络的加密互联。同时，研制完成了无线传感网核心协议芯片。另外，基于mems技术的生物微传感技术和生物芯片技术在生命科学研究、生物医学工程、医疗保健、食品加工、环境检测等领域有广阔的应用前景。