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日前，中国本土半导体设备传来好消息。中威半导体设备(上海)有限公司自主研发的5nm等离子蚀刻机通过TSMC验证，性能优异，将用于全球首条5nm工艺生产线。蚀刻机是芯片制造中的关键设备之一。Micromicro突破了关键核心技术，使“中国制造”跻身蚀刻机国际第一梯队。近年来，中国大陆半导体设备企业一直在努力追赶国际先进步伐。在各种设备领域都有一些突破。除了上面提到的用于中微半导体的5nm等离子蚀刻机，越来越多的产品可以应用于14nm和7nm工艺。
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