掩膜板属于光刻技术的范畴吗2,简述光刻的工艺过程步骤3,光刻技术的种类及介绍4,光刻曝光技术的主要流程及每个步骤的意义5,光刻机中国能造吗6,光刻技术的原理是什么1,掩膜板属于光刻技术的范畴吗可以,掩膜版(光刻版)应用的是光刻技术。2,简述光刻的工艺过程步骤1.wafer表面处理;2.旋涂光刻胶(包括抗反射层)3.前烘;4.曝光;5.后烘;6.显影,有的需要在显影前进行坚膜;7.刻蚀3,光刻技术的种类及介绍你可以参看这些资料http://baike.baidu.com/view/359979.htm?...
更新时间:2023-08-22标签: 光刻技术掩膜板属于光刻技术的范畴吗 全文阅读