LPCVD,lpcvd和pecvd的区别
什么是CVD技术？与链式平板PECVD技术相比，管式PECVD具有设备成本低、维护维修简便等优点，可以降低太阳能电池的制备成本。CVD技术是指化学气相沉积技术，利用批量管式等离子体化学气相沉积(PECVD)系统沉积氮化硅薄膜作为减反射层和钝化层，已经成为大规模生产制造晶体硅太阳能电池的标准技术，目前已经得到广泛应用。1、单晶硅电池片镀膜是干什么的?采用批量管式等离子体化学气相沉积(PECVD)系统沉积的氮化硅薄膜作为减反射层和钝化层，已经成为大规模生产制造晶体硅太阳能电池的标准工艺技术，目前已经得到广泛应...
更新时间：2023-10-26标签： LPCVDlpcvdpecvdLPCVD 全文阅读