等离子刻蚀机，感应耦合等离子体刻蚀机工作原理是什么
感应耦合等离子体刻蚀机工作原理是什么利用ICP产生高密度等离子体，等离子体中的活性基团或者离子与所需刻蚀的材料发生化学反应，并去除；一般在刻蚀的过程中同时也伴随着物理轰击，并把相应的键能打开，从而加速反应的进程。2，等离子刻蚀机工作原理利用icp产生高密度等离子体，等离子体中的活性基团或者离子与所需刻蚀的材料发生化学反应，并去除；一般在刻蚀的过程中同时也伴随着物理轰击，并把相应的键能打开，从而加速反应的进程。CF4在高温高频作用，与氧气反应，形成氟离子，撞击硅片周围，形成PN极（去除N极，形成P极）3...
更新时间：2024-12-09标签： 等离子离子刻蚀感应等离子刻蚀机 全文阅读